Наименование: Установка газофазного осаждения

VVHT 0305

Услуга:

ОКПД2: 28.21.13.110

Мощность в сутки: 5.0

Описание: Получение карбида кремния из газовой фазы. Основные технические характеристики: - Диаметр рабочей области камеры - 300 мм, высота - 500 мм; - Максимальная температура в рабочей камере - 1500° С; - Минимальное давление в камере при вакуумировании - 20 Па. Установка предназначена для химического осаждения и инфильтрации, предназначена для отработки технологий получения карбида кремния (SiC) из газовой смеси метилтрихлорсиллана, водорода и аргона.

Предприятие: «ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ»

Контакты: +7 916 709-21-07